IONIMAC I101 ist mit zwei Kathodenpaaren 5 ² x 23 ² ausgerüstet, die eine
hohe Beschichtungsgeschwindigkeit gewährleisten und vertikal, einander
paarweise gegenüberstehend, angeordnet sind.
Zwei koaxial montierte Kathoden sind im Innern der Kammer angebracht, das
heisst an deren Decke aufgehängt, und zwei äussere Kathoden sind seitlich
in der Kammerwand eingepasst. Die spezielle Anordnung der Befestigungen
gewährleistet ein schnelles und leichtes Entfernen der Kathoden, das schnelle
Auswechseln der Targetmaterialien und eine einfache Einstellung der Distanz
zwischen den Kathoden und den Substraten.
Es ist ebenfalls möglich, Kathoden anderer Grössen anzubringen und die ganze Einrichtung mit einem zusätzlichen Kathodenpaar auszurüsten.
|
|
Zurück zum Hauptmenu |