IONIMAC I 501 ist eine Labor-Ausrüstung, die das Auftragen von dünnen Schichten mittels PVD (Physical Vapor Deposition) ermöglicht. Sie charakterisiert sich durch ihre kompakte Struktur, was zu einer minimalen Platzbeanspruchung führt. IONIMAC I 501 erlaubt viele Anwendungsmöglichkeiten und lässt sich leicht an besondere Bedürfnisse anpassen. Dies nicht nur dank der änderbaren Stellung der Vakuumkammer zwischen 0 und 90 Grad (Kathoden sind senkrecht oder waagrecht), sondern auch wegen dem vereinfachten Zugang der wesentlichen Bestandteilen. Ferner erlaubt die Bauart der IONIMAC I 501 ein schnelles Auswechseln der Kathoden sowie der Substrathalterung und der Unterhalt ist vereinfacht.
Die Vakuumkammer ist mit zwei sich gegenüberstehenden "Magnetron"-Kathoden ausgestattet, die gleichzeitig oder abwechslungsweise arbeiten.
Das Vakuum wird durch eine Drehschieberpumpe mit einer Leistung von 32 m3/Std und einer wassergekühlten Turbo-Molekularpumpe mit einer Leistung von 450 L/Sek. erzeugt.
Innenausmasse der Vakuumkammer : 370 mm x 300 mm x 100 mm.
Wenn die Vakuumkammer waagrecht platziert ist, kann der von Hand oder motorisiert drehbare Substrat-Träger durch eine Scheibe ersetzt werden.
Die Grundausführung der Ausrüstung erlaubt, mit DC-Ätzen und DC-Beschichten zu arbeiten. Während der Beschichtung können die beiden Kathoden gleichzeitig oder abwechslungsweise benützt werden. Ferner bietet ein DC-Generator die Möglichkeit, die Substrate zu polarisieren.
Dank 3 Massen-Durchflussregeln kann in reagierender oder nicht reagierender (Argon + 2 reagierende Gase) Absetzung beschichtet werden.
Die Distanz zwischen den Targets und den Substraten kann nach Bedarf durch ein Spiel Zwischenträger verändert werden.
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