Gaszuführung
Eine Gasdusche verteilt die Gasmischung gleichmässig auf die Umgebung der Kathoden mit reaktiver Beschichtung.
In der Grundausführung ist IONIMAC I 101 mit drei Eingängen für verschiedene Gase ausgerüstet, wobei die Massenmenge (" Mass Flow Control ") mittels Massenmetern HITECH kontrolliert wird. Auf Verlangen kann ein vierter Eingang vorgesehen werden.
| Eingang 1: | Aargon | 0 - 500 sccm |
| Eingang 2: | reagierendes Gas | 0 - 200 sccm (Stickstoffeichung) |
| Eingang 3: | reagierendes Gas | 0 - 100 sccm (Stickstoffeichung) |
| Eingang 4: | auf Verlangen |
