La machine Ionimac I101 est équipée de deux paires de cathodes 5 " x 23 ", à haute vitesse de déposition, montées verticalement face à face par paire. Deux cathodes à montage coaxial sont placées à l’intérieur de l’enceinte, suspendues à son plafond, et deux cathodes extérieures sont ajustées latéralement dans la paroi de l’enceinte. La conception originale des flasques de fixation assure un démontage rapide et aisé des cathodes, l’échange rapide des cibles et l’ajustement de la distance cathodes - substrat.
Il est également possible de monter des cathodes de dimensions différentes, ainsi que d’équiper l’installation d’une paire de cathodes supplémentaire.
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