Chambre à vide
Réalisée entièrement en acier inoxydable, avec un
système à double paroi assurant, par circulation d’eau froide
ou chaude, le refroidissement des parois en cours de déposition,
ou le chauffage afin d’éviter les condensations d’humidité
lors du remplissage d’air du système. Par rapport aux systèmes
de circulation d’eau par serpentins soudés aux paroi de la chambre,
le système à double parois est plus efficace, plus esthétique,
car non apparent, et permet d’éviter les problèmes de corrosion
observés à la soudure des serpentins.
A l’avant de l’enceinte, une porte de grandes dimensions facilite le
chargement et le déchargement des substrats.
| - Dimensions de l’enceinte: |
intérieur: |
largeur |
650 mm |
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profondeur |
690 mm |
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hauteur |
700 mm |
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extérieur: |
largeur |
1100 mm |
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profondeur |
1100 mm |
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hauteur |
1100 mm |
| - Dimensions de l’ouverture de la porte: |
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650 x 700 mm |
L’enceinte est pourvue de nombreuses connexions NW 10 KF et NW 40 KF
permettant le montage ultérieur d’appareils de mesure ou d’accessoires.
A l’intérieur, elle est habillée de tôles en acier
inoxydable amovibles facilitant le nettoyage et l’entretien du système.
