Introduction des gaz
Une rampe de distribution répartit uniformément le mélange de gaz sur la circonférence des cathodes à déposition réactive.
La machine est, dans sa version de base, équipée de trois entrées de gaz différents avec contrôle du débit massique (« Mass Flow Control ») au moyen du débimètres HITECH. Sur demande une quatrième entrée peut être prévue.
| Entrée 1: | argon | 0 - 500 sccm |
| Entrée 2: | gaz réactif | 0 - 200 sccm (étalonnage azote) |
| Entrée 3: | gaz réactif | 0 - 100 sccm (étalonnage azote) |
| Entrée 4: | sur demande. |
