Description de la machine I101:

• Chambre à vide
• Sources de chaleur
• Cathode "Magnetron"
• Générateur électrique de décapage DC
• Polarisation des substrats ("Bias")
• Alimentation des cathodes
• Introduction des gaz

Machine I501: Machine de laboratoire fonctionnelle chez Préci-Coat S.A.

Description de la machine I501:

• Description de l'équipement
• Applications
• Options

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